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    mini型磁控濺射儀

    簡要描述:mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD,桌面式設計小巧卻功能齊全。觸摸屏控制功率,樣品臺0-8轉/分旋轉,自動電動樣品擋板等。

    • 產品型號:KT-Z1650PVD
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2023-09-08
    • 訪  問  量:611
    詳細介紹
    品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
    樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
    樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
    靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
    產地類別國產應用領域綜合

    mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD,該設備集磁控濺射與離子鍍膜技術為一體,對提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩定性提供了解決方案。設備具有外形美觀、結構緊湊、占地面積小、自動化程度高、操作簡單靈活、性能穩定、易維護等特點。設備可適用于不銹鋼、水鍍五金件/塑膠件、玻璃、陶瓷等材質;可制備單質金屬層如鈦、鉻、銀、銅或金屬化合物膜層如TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等;可實現深黑色、爐內金、玫瑰金、仿金、鋯金、寶石藍、亮銀色等顏色。

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    mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;

    控制方式

    7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

    濺射電源

    直流濺射電源

    鍍膜功能

    0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    功率

    ≤1000W

    輸出電壓電流

    電壓≤1000V  電流≤1A

    真空

    機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

    濺射真空

    ≤30Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

    樣品臺

    可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

    樣品臺轉速

    8轉/分鐘

    樣品濺射源調節距離

    40-105mm

    真空測量

    皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

    預留真空接口

    KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口


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