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    小型濺射儀鄭科探

    簡要描述:小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD 該產品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,

    • 產品型號:KT-Z1650PVD
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2023-09-08
    • 訪  問  量:603
    詳細介紹
    品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
    樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
    樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
    靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
    產地類別國產應用領域化工,電氣

    小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD


    離子濺射儀在掃描電鏡中應用十分廣泛,通過向樣品表面噴鍍金、鉑、鈀及混合靶材等金屬消除不導電樣品的荷電現象,并提高觀測效率,另外可以使用噴碳附件對樣品進行蒸碳,實現不導電樣品的能譜儀元素定性和半定量分析。


    磁控濺射優點

    1沉積速率快,沉積效率高,適合工業生產大規模應用;

    2基片溫度低,適合塑料等不耐高溫的基材鍍膜;

    3制備的薄膜純度高、致密性好、薄膜均勻性好、膜基結合力強;

    4可制備金屬、合金、氧化物等薄膜;


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    小型濺射儀鄭科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;

    控制方式

    7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

    濺射電源

    直流濺射電源

    鍍膜功能

    0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    功率

    ≤1000W

    輸出電壓電流

    電壓≤1000V  電流≤1A

    真空

    機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

    濺射真空

    ≤30Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

    樣品臺

    可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

    樣品臺轉速

    8轉/分鐘

    樣品濺射源調節距離

    40-105mm

    真空測量

    皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

    預留真空接口

    KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口



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