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    小型真空鎢舟熱蒸鍍儀

    簡要描述:小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型多功能鍍膜儀,額定1800度高溫,自動樣品擋板,靶臺旋轉,觸摸屏多段控制,工藝儲存等功能。

    • 產品型號:KT-Z1650CVD
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2023-09-08
    • 訪  問  量:636
    詳細介紹
    品牌鄭科探產地類別國產
    應用領域化工,電子

    小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD

    是一款小型多功能鍍膜儀,額定1800度高溫,自動樣品擋板,靶臺旋轉,觸摸屏多段控制,工藝儲存等功能。

    正空蒸發鍍膜包括以下基本過程:
    (1)加熱蒸發過程:包括由凝聚相轉變為氣相的過程,每種蒸發物質在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。
    (2)氣態原子或分子在蒸發源與基片之間運輸,即原子或分子在環境氣氛中的飛行過程。

    (3)蒸發原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發,凝聚,成核,核生長,形成連續的膜。由于基板溫度遠

    低于基板溫度遠低于蒸發源溫度,因此,氣態分子在基片表面將發生直接由氣態到固態的相轉變過程。


    637853680603154055897.jpg


    以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

    637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機械泵

    637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


    真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


    小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD

    控制方式

    7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

    加熱方式

    數字式功率調整器

    鍍膜功能

    0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    最大功率

    1200W

    最大輸出電壓電流

    電壓≤12V  電流≤120A

    真空度

    機械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

    樣品臺

    可旋轉φ62  (最大可安裝φ50基底)

    樣品臺轉速

    8/分鐘

    樣品蒸發源調節距離

    70-140mm

    蒸發溫度調節

    1800

    支持蒸發坩堝類型

    鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  

    預留真空接口

    KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進氣口

    可選配擴展

    機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

    數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa

    分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa


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