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    小型濺射儀問題解答

    發布時間:2023-04-17瀏覽:401次

    小型濺射儀儀問儀答

    最近小伙伴對于濺射儀使用和技術參數問的問題比較多,今天總結一下濺射儀的一些常見的技術問題:


    1、膜厚檢測儀原理:膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,利用頻率測量技術加上先進的數學算法,進行膜厚的在線鍍膜速率和實時厚度計算。主要應用于MBE、OLED或金屬熱蒸發、磁控濺射設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。


    2、濺射儀是否可以鍍鎳:可以鍍鎳  但是 鎳是導磁金屬 所以 需要靶材盡量薄 0.5mm-1mm最好  太厚磁場無法穿透  濺射速率很低。


    3、直流濺射鍍膜調節:1 靶材需要良好的導電性, 如果具備這個條件  可以鍍    2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色。


    鄭科探小型濺射儀KT-Z1650PVD

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    以上是小伙伴近期問的比較多的問題,如果還有什么問題歡迎咨詢。


     

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